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桌面型原子層沉積系統(tǒng)由哈佛大學(xué)納米科學(xué)中心薄膜沉積工藝研究科學(xué)家Dr. Philippe de Rouffignac設(shè)計(jì)，基于多年納米薄膜制備的經(jīng)驗(yàn)以及對(duì)科研工作者切實(shí)研究需要的了解，推出了此桌面型原子層沉積系統(tǒng)。