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反射高能電子衍射儀 RHEED可以由計算機(jī)來控制.電子槍控制部分包括一個界面模塊和一個軟件包，這保證了RHEED的使用靈活性，和可重復(fù)性.用戶自己設(shè)定的參數(shù)可以被保存并調(diào)入，通過電子束光闌可以控制電子束的開關(guān)，使用電子束搖擺特征可以調(diào)節(jié)電子束入射角度.